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发布时间:2022-08-12 16:40:09
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点,就要考虑各个真空泵性能的问题,首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少,如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能,其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
检漏仪是如何工作的?检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的检漏仪为例进行说明。在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東,并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有-定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束Mz恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。
检漏主要领域:航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等;仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等;检漏主要领域:电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统;电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路;对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa。m3/s),然后对氦罩冲氦。
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